| 작 성 자: 이지훈 |
홈페이지: http:// |
| 작 성 일: 00-01-11 오후 2:24:20 |
조 회 수: 1102 |
| 실리콘 러버 Etching 관련... |
실리콘 러버를 재질로 하는 Roller를 사용하여 Wafer Align을
하고 있습니다.
그런데 사용시간이 지날 수록 Wafer의 Edge로 인하여 Roller에
홈이 생기게 되고, 이 홈으로 불순물이 끼어들어 Cleaning에
문제가 되고 있습니다.
그래서 Cleaning과 함께 약간은 이 실리콘 러버를 Etching하여
홈을 평탄하게 할 수 있는 Chemicals를 찾습니다.
혹 관련되시는 분들의 조언/연락을 부탁드립니다.
수고하세요...
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