| 작 성 자: 이주훈 |
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| 작 성 일: 99-12-24 오후 12:32:06 |
조 회 수: 1280 |
| AlF3를 녹일수 있는 용제가 있을까요? |
Aluminum fluoride(AlF3)가 silicon wafer 표면에 생겨서 이걸 제거해야 되는데요....
적당한 용제가 있을까요...
water에는 너무 용해도가 낮아서 힘들고...
어떤 방법이 없을까요?
부탁드립니다.
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