| 작 성 자: 대림산업 |
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| 작 성 일: 00-03-21 오후 7:29:32 |
조 회 수: 737 |
| AlF3를 녹일수 있는 용제가 있을까요? |
저희회사에서는 AlCl3를 사용하고 있는데 유사한 물성을 지닐 것으로 판단되어 답변드림니다.
물을 사용하면 불용성인 Al2O3(Alumina)가 생성되어 잘제거되지 않을 것입니다. PH 2 이하의 산성조건이나 PH 12 이상의 염기성 조건에서는 물에 대한 용해도가 높지만 중성조건에서는 침전이 형성됨니다. 따라서 물을 사용하시려면 NaOH수용액이나 암모니아수를 사용하는 것이 바람직해 보임니다. 유기용매로서는 Nitrobenzene에 가장 잘 녹지만 냄새가 심하여 사용이 불편하므로 과량의 Methylene Chloride(CH2Cl2)를 이용하시는 것이 바람직해 보임니다.
부디 도움이 되셨으면 함니다.
====== 원문 메세지 ======
작성자: 이주훈
내 용:
Aluminum fluoride(AlF3)가 silicon wafer 표면에 생겨서 이걸 제거해야 되는데요....
적당한 용제가 있을까요...
water에는 너무 용해도가 낮아서 힘들고...
어떤 방법이 없을까요?
부탁드립니다.
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AlF3를 녹일수 있는 용제가 있을까요?