| triethyl phosphate(TEP) 약품에 대해서. |
안녕하세요.
반도체 제조 장비를 만드는 회사입니다.
이번에 TEP(triethyl phosphate) 약품을 사용하는 장비를 제작하게 되었습니다.
그런데, 이 TEP약품을 사용하는 장비에 고려해야할 사항이라던가, 어떤 재질로 만들어야하는지에 대한 정보는 인터넷 상에 없어서 이렇게 글을 남깁니다.
정리하면, PVC, 테프론, 바이톤, EPDM, PVDF등등의 수지재질과 TEP 약품과의 사용가능여부와 불가여부등이나, 추천되는 재료는 무엇인지 궁금합니다.
빠른 답변 도움 부탁드립니다.(__)
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